Please use this identifier to cite or link to this item:
http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520| Title: | การสร้างตัวตรวจรู้ความดันแบบตัวเก็บประจุด้วยกระบวนการเอกซ์เรย์ ลิโธกราฟฟี โดยตรงของสารไวแสง SU-8 |
| Other Titles: | Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist |
| Authors: | วัชรพล ภุมรา |
| Keywords: | รังสีเอกซ์;ตัวเก็บประจุไฟฟ้า |
| Issue Date: | 2556 |
| Publisher: | สาขาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี |
| URI: | http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520 |
| Appears in Collections: | วิทยานิพนธ์ (Thesis) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Abstract.pdf | บทคัดย่อ | 280.05 kB | Adobe PDF | View/Open |
| fulltext.pdf | เอกสารฉบับเต็ม | 15.85 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.