Please use this identifier to cite or link to this item:
http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520
Title: | การสร้างตัวตรวจรู้ความดันแบบตัวเก็บประจุด้วยกระบวนการเอกซ์เรย์ ลิโธกราฟฟี โดยตรงของสารไวแสง SU-8 |
Other Titles: | Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist |
Authors: | วัชรพล ภุมรา |
Keywords: | รังสีเอกซ์;ตัวเก็บประจุไฟฟ้า |
Issue Date: | 2556 |
Publisher: | สาขาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี |
URI: | http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520 |
Appears in Collections: | วิทยานิพนธ์ (Thesis) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Abstract.pdf | บทคัดย่อ | 280.05 kB | Adobe PDF | View/Open |
fulltext.pdf | เอกสารฉบับเต็ม | 15.85 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.