Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520
Title: การสร้างตัวตรวจรู้ความดันแบบตัวเก็บประจุด้วยกระบวนการเอกซ์เรย์ ลิโธกราฟฟี โดยตรงของสารไวแสง SU-8
Other Titles: Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist
Authors: วัชรพล ภุมรา
Keywords: รังสีเอกซ์;ตัวเก็บประจุไฟฟ้า
Issue Date: 2556
Publisher: สาขาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520
Appears in Collections:วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Abstract.pdfบทคัดย่อ280.05 kBAdobe PDFView/Open
fulltext.pdfเอกสารฉบับเต็ม15.85 MBAdobe PDFView/Open


Items in SUTIR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.