การสร้างตัวตรวจรู้ความดันแบบตัวเก็บประจุด้วยกระบวนการเอกซ์เรย์ ลิโธกราฟฟี โดยตรงของสารไวแสง SU-8

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	วัชรพล ภุมรา	-
dc.date.accessioned	2014-07-14T04:42:19Z	-
dc.date.available	2014-07-14T04:42:19Z	-
dc.date.issued	2556	-
dc.identifier.uri	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520	-
dc.format.extent	16233637 bytes	-
dc.format.extent	286770 bytes	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	th	en
dc.publisher	สาขาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี	en
dc.subject	รังสีเอกซ์	en
dc.subject	ตัวเก็บประจุไฟฟ้า	en
dc.title	การสร้างตัวตรวจรู้ความดันแบบตัวเก็บประจุด้วยกระบวนการเอกซ์เรย์ ลิโธกราฟฟี โดยตรงของสารไวแสง SU-8	en
dc.title.alternative	Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist	en
dc.type	Thesis	en
dc.degree.name	วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต	-
dc.degree.level	ปริญญาโท	-
dc.degree.discipline	วิศวกรรมไฟฟ้า	-
dc.degree.grantor	มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี	-
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Abstract.pdf	บทคัดย่อ	280.05 kB	Adobe PDF	View/Open
fulltext.pdf	เอกสารฉบับเต็ม	15.85 MB	Adobe PDF	View/Open