การพัฒนากระบวนการผลิตโครงสร้างจุลภาคโดยวิธีการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/323

Title:	การพัฒนากระบวนการผลิตโครงสร้างจุลภาคโดยวิธีการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์
Other Titles:	Process development of microstructure production using x-ray lithography
Authors:	วินัย วันบุรี
Keywords:	รังสีเอ็กซ์;โครงสร้างจุลภาค;การลิโธกราฟฟี
Issue Date:	2550
Publisher:	มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI:	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/323
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
winai_fulltext.pdf	เอกสารฉบับเต็ม	28.3 MB	Adobe PDF	View/Open
winai_abst.pdf	บทคัดย่อ	83.39 kB	Adobe PDF	View/Open