การพัฒนากระบวนการผลิตโครงสร้างจุลภาคโดยวิธีการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/323

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	วินัย วันบุรี	-
dc.date.accessioned	2008-07-01T04:12:22Z	-
dc.date.available	2008-07-01T04:12:22Z	-
dc.date.issued	2550	-
dc.identifier.uri	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/323	-
dc.format.extent	28984101 bytes	-
dc.format.extent	85391 bytes	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	th	en
dc.publisher	มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี	en
dc.subject	รังสีเอ็กซ์	en
dc.subject	โครงสร้างจุลภาค	en
dc.subject	การลิโธกราฟฟี	en
dc.title	การพัฒนากระบวนการผลิตโครงสร้างจุลภาคโดยวิธีการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์	en
dc.title.alternative	Process development of microstructure production using x-ray lithography	en
dc.type	Thesis	en
dc.degree.name	วิศวกรรมไฟฟ้า	-
dc.degree.level	ปริญญาโท	-
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
winai_fulltext.pdf	เอกสารฉบับเต็ม	28.3 MB	Adobe PDF	View/Open
winai_abst.pdf	บทคัดย่อ	83.39 kB	Adobe PDF	View/Open