Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/323
Title: การพัฒนากระบวนการผลิตโครงสร้างจุลภาคโดยวิธีการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์
Other Titles: Process development of microstructure production using x-ray lithography
Authors: วินัย วันบุรี
Keywords: รังสีเอ็กซ์;โครงสร้างจุลภาค;การลิโธกราฟฟี
Issue Date: 2550
Publisher: มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/323
Appears in Collections:วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
winai_fulltext.pdfเอกสารฉบับเต็ม28.3 MBAdobe PDFView/Open
winai_abst.pdfบทคัดย่อ83.39 kBAdobe PDFView/Open


Items in SUTIR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.