การประยุกต์ใช้กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์ในการสร้างตัวเหนี่ยวนำและตัวเก็บประจุ

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669

Title:	การประยุกต์ใช้กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์ในการสร้างตัวเหนี่ยวนำและตัวเก็บประจุ
Other Titles:	Applications of x-ray lithography in fabrication of inductors and capacitors
Authors:	มาโนทย์ มาปะโท
Keywords:	ตัวเก็บประจุไฟฟ้า;ตัวเหนี่ยวนำไฟฟ้า;รังสีเอ็กซ์
Issue Date:	2556
Publisher:	สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI:	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Fulltext.pdf	เอกสารฉบับเต็ม	9.09 MB	Adobe PDF	View/Open
Abstract.pdf	บทคัดย่อ	1.83 MB	Adobe PDF	View/Open