การประยุกต์ใช้กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์ในการสร้างตัวเหนี่ยวนำและตัวเก็บประจุ

มาโนทย์ มาปะโท

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	มาโนทย์ มาปะโท	-
dc.date.accessioned	2019-01-31T09:24:36Z	-
dc.date.available	2019-01-31T09:24:36Z	-
dc.date.issued	2556	-
dc.identifier.uri	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669	-
dc.format.extent	1877561 bytes	-
dc.format.extent	9304866 bytes	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	th	en
dc.publisher	สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี	en
dc.subject	ตัวเก็บประจุไฟฟ้า	en
dc.subject	ตัวเหนี่ยวนำไฟฟ้า	en
dc.subject	รังสีเอ็กซ์	en
dc.title	การประยุกต์ใช้กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์ในการสร้างตัวเหนี่ยวนำและตัวเก็บประจุ	en
dc.title.alternative	Applications of x-ray lithography in fabrication of inductors and capacitors	en
dc.type	Thesis	en
dc.degree.name	วิศวกรรมศาสตรดุษฎีบัณฑิต	-
dc.degree.level	ปริญญาเอก	-
dc.degree.discipline	วิศวกรรมไฟฟ้า	-
dc.degree.grantor	มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี	-
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Fulltext.pdf	เอกสารฉบับเต็ม	9.09 MB	Adobe PDF	View/Open
Abstract.pdf	บทคัดย่อ	1.83 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record