การออกแบบและสร้างไมโครวาล์วเพื่อควบคุมการไหลของแก๊สด้วยเทคโนโลยีระบบกลไฟฟ้าจุลภาค

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/1150

Title:	การออกแบบและสร้างไมโครวาล์วเพื่อควบคุมการไหลของแก๊สด้วยเทคโนโลยีระบบกลไฟฟ้าจุลภาค
Other Titles:	DESIGN AND FABRICATION OF MICROVALVE FOR GAS FLOW CONTROL USING MEMS TECHNOLOGY
Authors:	รุ่งเรือง พัฒนากุล
Keywords:	ไมโควาล์ว;ไฟฟ้าจุลภาค;การออกแบบ
Issue Date:	2549
Publisher:	สำนักวิศวกรรมศาสตร์ สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI:	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/1150
ISSN:	9745335894
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
rungrueang_fulltext.pdf		2.38 MB	Adobe PDF	View/Open
rungrueang_abstract.pdf		120.78 kB	Adobe PDF	View/Open