การออกแบบและสร้างไมโครวาล์วเพื่อควบคุมการไหลของแก๊สด้วยเทคโนโลยีระบบกลไฟฟ้าจุลภาค

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/1150

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	รุ่งเรือง พัฒนากุล	-
dc.date.accessioned	2008-08-15T10:42:44Z	-
dc.date.available	2008-08-15T10:42:44Z	-
dc.date.issued	2549	-
dc.identifier.issn	9745335894	-
dc.identifier.uri	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/1150	-
dc.format.extent	123679 bytes	-
dc.format.extent	2432829 bytes	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	th	en
dc.publisher	สำนักวิศวกรรมศาสตร์ สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี	en
dc.subject	ไมโควาล์ว	en
dc.subject	ไฟฟ้าจุลภาค	en
dc.subject	การออกแบบ	en
dc.title	การออกแบบและสร้างไมโครวาล์วเพื่อควบคุมการไหลของแก๊สด้วยเทคโนโลยีระบบกลไฟฟ้าจุลภาค	en
dc.title.alternative	DESIGN AND FABRICATION OF MICROVALVE FOR GAS FLOW CONTROL USING MEMS TECHNOLOGY	en
dc.type	Thesis	en
dc.degree.name	สาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า	-
dc.degree.level	ปริญญาโท	-
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
rungrueang_fulltext.pdf		2.38 MB	Adobe PDF	View/Open
rungrueang_abstract.pdf		120.78 kB	Adobe PDF	View/Open