การออกแบบและสร้างตัวตรวจรู้ความชื้นชนิดเก็บประจุด้วยเทคโนโลยีระบบกลไฟฟ้าจุลภาค

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/1701

Title:	การออกแบบและสร้างตัวตรวจรู้ความชื้นชนิดเก็บประจุด้วยเทคโนโลยีระบบกลไฟฟ้าจุลภาค
Other Titles:	DESIGN AND FABRICATION OF CAPACITIVE HUMIDITY SENSORS USING MEMS TECHNOLOGY
Authors:	ชิตพงษ์ เกตุถนอม
Keywords:	การตัวตรวจรู้ความชื้น;ไฟฟ้าจุลภาค;ระบบไฟฟ้า
Issue Date:	2549
Publisher:	สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI:	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/1701
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
chitpong_fulltext.pdf		5.4 MB	Adobe PDF	View/Open
chitpong_abstract.pdf		145.64 kB	Adobe PDF	View/Open