Please use this identifier to cite or link to this item:
http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | วัชรพล ภุมรา | - |
dc.date.accessioned | 2014-07-14T04:42:19Z | - |
dc.date.available | 2014-07-14T04:42:19Z | - |
dc.date.issued | 2556 | - |
dc.identifier.uri | http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520 | - |
dc.format.extent | 16233637 bytes | - |
dc.format.extent | 286770 bytes | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | th | en |
dc.publisher | สาขาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี | en |
dc.subject | รังสีเอกซ์ | en |
dc.subject | ตัวเก็บประจุไฟฟ้า | en |
dc.title | การสร้างตัวตรวจรู้ความดันแบบตัวเก็บประจุด้วยกระบวนการเอกซ์เรย์ ลิโธกราฟฟี โดยตรงของสารไวแสง SU-8 | en |
dc.title.alternative | Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist | en |
dc.type | Thesis | en |
dc.degree.name | วิศวกรรมศาสตรมหาบัณฑิต | - |
dc.degree.level | ปริญญาโท | - |
dc.degree.discipline | วิศวกรรมไฟฟ้า | - |
dc.degree.grantor | มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี | - |
Appears in Collections: | วิทยานิพนธ์ (Thesis) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Abstract.pdf | บทคัดย่อ | 280.05 kB | Adobe PDF | View/Open |
fulltext.pdf | เอกสารฉบับเต็ม | 15.85 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.