การสร้างตัวตรวจรู้ความชื้นความเร็วสูงโดยกระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2689

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	มาโนทย์ มาปะโท	-
dc.date.accessioned	2008-11-07T08:00:45Z	-
dc.date.available	2008-11-07T08:00:45Z	-
dc.date.issued	2550	-
dc.identifier.uri	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2689	-
dc.format.extent	5642996 bytes	-
dc.format.extent	5665663 bytes	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	th	en
dc.publisher	สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี	en
dc.subject	การสร้างตัวตรวจรู้ความชื้นความเร็วสูง	en
dc.subject	กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์	en
dc.title	การสร้างตัวตรวจรู้ความชื้นความเร็วสูงโดยกระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์	en
dc.title.alternative	Fabrication of fast response humidity sensor by using X-Ray lithography technique	en
dc.type	Thesis	en
dc.degree.level	ปริญญาโท	-
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Manot_abst.pdf	Abstract	5.53 MB	Adobe PDF	View/Open
Manot_full.pdf	Fulltext	5.51 MB	Adobe PDF	View/Open