Please use this identifier to cite or link to this item:
https://sutir.sut.ac.th/jspui/handle/123456789/4520
| Title: | การสร้างตัวตรวจรู้ความดันแบบตัวเก็บประจุด้วยกระบวนการเอกซ์เรย์ ลิโธกราฟฟี โดยตรงของสารไวแสง SU-8 |
| Other Titles: | Fabrication of capacitive pressure sensors using direct x-ray lithography of su-8 photoresist |
| Authors: | วัชรพล ภุมรา |
| Keywords: | รังสีเอกซ์;ตัวเก็บประจุไฟฟ้า |
| Issue Date: | 2556 |
| Publisher: | สาขาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี |
| URI: | http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/4520 |
| Appears in Collections: | วิทยานิพนธ์ (Thesis)
|
| ลงชื่อ/Signature _______________________________ |
| รหัสนักศึกษา/Student ID _______________________ |
| วันที่/Day ______ เดือน/Month _________________ ปี/Year _______ |
