Please use this identifier to cite or link to this item:
https://sutir.sut.ac.th/jspui/handle/123456789/2473| Title: | Simulation of metallic MEMS electrostatic actuator for microvalve application |
| Authors: | R Pattanakul |
| Keywords: | microvalve;electrostatic actuator;metallic |
| Issue Date: | 2548 |
| Description: | ผลงานวิชาการคณาจารย์มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี |
| URI: | http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2473 |
| Appears in Collections: | บทความ (Articles) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| BIB767.pdf | เอกสารฉบับเต็ม | 498.85 kB | Adobe PDF | View/Open |
| ลงชื่อ/Signature _______________________________ |
| รหัสนักศึกษา/Student ID _______________________ |
| วันที่/Day ______ เดือน/Month _________________ ปี/Year _______ |