Please use this identifier to cite or link to this item:
https://sutir.sut.ac.th/jspui/handle/123456789/1150
| Title: | การออกแบบและสร้างไมโครวาล์วเพื่อควบคุมการไหลของแก๊สด้วยเทคโนโลยีระบบกลไฟฟ้าจุลภาค |
| Other Titles: | DESIGN AND FABRICATION OF MICROVALVE FOR GAS FLOW CONTROL USING MEMS TECHNOLOGY |
| Authors: | รุ่งเรือง พัฒนากุล |
| Keywords: | ไมโควาล์ว;ไฟฟ้าจุลภาค;การออกแบบ |
| Issue Date: | 2549 |
| Publisher: | สำนักวิศวกรรมศาสตร์ สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี |
| URI: | http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/1150 |
| ISSN: | 9745335894 |
| Appears in Collections: | วิทยานิพนธ์ (Thesis)
|
| ลงชื่อ/Signature _______________________________ |
| รหัสนักศึกษา/Student ID _______________________ |
| วันที่/Day ______ เดือน/Month _________________ ปี/Year _______ |
