Please use this identifier to cite or link to this item:
http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669
Title: | การประยุกต์ใช้กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์ในการสร้างตัวเหนี่ยวนำและตัวเก็บประจุ |
Other Titles: | Applications of x-ray lithography in fabrication of inductors and capacitors |
Authors: | มาโนทย์ มาปะโท |
Keywords: | ตัวเก็บประจุไฟฟ้า;ตัวเหนี่ยวนำไฟฟ้า;รังสีเอ็กซ์ |
Issue Date: | 2556 |
Publisher: | สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี |
URI: | http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669 |
Appears in Collections: | วิทยานิพนธ์ (Thesis) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Fulltext.pdf | เอกสารฉบับเต็ม | 9.09 MB | Adobe PDF | View/Open |
Abstract.pdf | บทคัดย่อ | 1.83 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.