Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorมาโนทย์ มาปะโท-
dc.date.accessioned2019-01-31T09:24:36Z-
dc.date.available2019-01-31T09:24:36Z-
dc.date.issued2556-
dc.identifier.urihttp://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/7669-
dc.format.extent1877561 bytes-
dc.format.extent9304866 bytes-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isothen
dc.publisherสาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารีen
dc.subjectตัวเก็บประจุไฟฟ้าen
dc.subjectตัวเหนี่ยวนำไฟฟ้าen
dc.subjectรังสีเอ็กซ์en
dc.titleการประยุกต์ใช้กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์ในการสร้างตัวเหนี่ยวนำและตัวเก็บประจุen
dc.title.alternativeApplications of x-ray lithography in fabrication of inductors and capacitorsen
dc.typeThesisen
dc.degree.nameวิศวกรรมศาสตรดุษฎีบัณฑิต-
dc.degree.levelปริญญาเอก-
dc.degree.disciplineวิศวกรรมไฟฟ้า-
dc.degree.grantorมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี-
Appears in Collections:วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Fulltext.pdfเอกสารฉบับเต็ม9.09 MBAdobe PDFView/Open
Abstract.pdfบทคัดย่อ1.83 MBAdobe PDFView/Open


Items in SUTIR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.