Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/323
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorวินัย วันบุรี-
dc.date.accessioned2008-07-01T04:12:22Z-
dc.date.available2008-07-01T04:12:22Z-
dc.date.issued2550-
dc.identifier.urihttp://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/323-
dc.format.extent28984101 bytes-
dc.format.extent85391 bytes-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isothen
dc.publisherมหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารีen
dc.subjectรังสีเอ็กซ์en
dc.subjectโครงสร้างจุลภาคen
dc.subjectการลิโธกราฟฟีen
dc.titleการพัฒนากระบวนการผลิตโครงสร้างจุลภาคโดยวิธีการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์en
dc.title.alternativeProcess development of microstructure production using x-ray lithographyen
dc.typeThesisen
dc.degree.nameวิศวกรรมไฟฟ้า-
dc.degree.levelปริญญาโท-
Appears in Collections:วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
winai_fulltext.pdfเอกสารฉบับเต็ม28.3 MBAdobe PDFView/Open
winai_abst.pdfบทคัดย่อ83.39 kBAdobe PDFView/Open


Items in SUTIR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.