การสร้างตัวตรวจรู้ความชื้นความเร็วสูงโดยกระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2689

Title:	การสร้างตัวตรวจรู้ความชื้นความเร็วสูงโดยกระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์
Other Titles:	Fabrication of fast response humidity sensor by using X-Ray lithography technique
Authors:	มาโนทย์ มาปะโท
Keywords:	การสร้างตัวตรวจรู้ความชื้นความเร็วสูง;กระบวนการลิโธกราฟฟีด้วยรังสีเอ็กซ์
Issue Date:	2550
Publisher:	สำนักวิชาวิศวกรรมศาสตร์ สาขาวิชาวิศวกรรมไฟฟ้า มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI:	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2689
Appears in Collections:	วิทยานิพนธ์ (Thesis)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Manot_abst.pdf	Abstract	5.53 MB	Adobe PDF	View/Open
Manot_full.pdf	Fulltext	5.51 MB	Adobe PDF	View/Open