Simulation of metallic MEMS electrostatic actuator for microvalve application

Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2473

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	R Pattanakul	-
dc.date.accessioned	2008-09-23T04:34:00Z	-
dc.date.available	2008-09-23T04:34:00Z	-
dc.date.issued	2548	-
dc.identifier.uri	http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2473	-
dc.description	ผลงานวิชาการคณาจารย์มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี	en
dc.format.extent	510823 bytes	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	en	en
dc.subject	microvalve	en
dc.subject	electrostatic actuator	en
dc.subject	metallic	en
dc.title	Simulation of metallic MEMS electrostatic actuator for microvalve application	en
dc.type	Article	en
Appears in Collections:	บทความ (Articles)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
BIB767.pdf	เอกสารฉบับเต็ม	498.85 kB	Adobe PDF	View/Open