Please use this identifier to cite or link to this item:
http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2473
Title: | Simulation of metallic MEMS electrostatic actuator for microvalve application |
Authors: | R Pattanakul |
Keywords: | microvalve;electrostatic actuator;metallic |
Issue Date: | 2548 |
Description: | ผลงานวิชาการคณาจารย์มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี |
URI: | http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2473 |
Appears in Collections: | บทความ (Articles) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
BIB767.pdf | เอกสารฉบับเต็ม | 498.85 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.