Please use this identifier to cite or link to this item: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2473
Title: Simulation of metallic MEMS electrostatic actuator for microvalve application
Authors: R Pattanakul
Keywords: microvalve;electrostatic actuator;metallic
Issue Date: 2548
Description: ผลงานวิชาการคณาจารย์มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี
URI: http://sutir.sut.ac.th:8080/jspui/handle/123456789/2473
Appears in Collections:บทความ (Articles)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
BIB767.pdfเอกสารฉบับเต็ม498.85 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.